Anyagtudományi Analitikai Kutatócsoport - Dr. Szilágyi Imre
ALD
Atomi rétegleválasztás (atomic layer deposition) készülék (Okyaytech, Atomry T-100) nanofilmek növesztésére.
UV-VIS reflektrometria
UV-Vis reflektometria AvaSpec készülékkel; Nanofilmek vastagságának mérése 10 nm-től; Porok, szilárd felületek mérése